東北大学電気通信研究所

研究基盤技術センタープロセス部

News
2022/4/19　ホームページを公開しました

プロセス部はナノ・スピン実験施設に常駐し、以下の業務に従事しています。

・電子線リソグラフィ技術支援

・フォトマスク作製支援

・イオンビーム加工解析支援

・クリーンルーム運転管理

以下の3名の技術職員で構成されています。

小野　力摩 技術職員（グループ長）

武者　倫正 技術職員

森田　伊織 技術職員

ここにナノ・スピン実験施設の共同利用装置の情報をアップしていく予定です。

様々な情報を提供します。